[1]
«Структура, властивості та морфологія твердих наноструктурованих покриттів Ti-Si-N», ЖФІП, вип. 11, вип. 3, с. 263–269, Лип 2017, дата звернення: Жов 23, 2026. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8757