[1]
«Іонно-плазмова система для реактивного магнетронного нанесення покриттів», ЖФІП, вип. 12, вип. 3, с. 428–439, Чер 2015, дата звернення: Лис 14, 2026. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/2863