«Технологічні особливості DC та RF магнетронного розпорошення» (2019) Журнал фізики та інженерії поверхні, 3(3), с. 89–99. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/14193 (дата звернення: 23 Жовтень 2026).