Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы. (2015). Журнал фізики та інженерії поверхні, 13(2), 148 – 163. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4553