Порівняльний аналіз різних джерел плазми для цілей реактивного нанесення покриттів і дифузійного насичення металів. ЖФІП. 2017;12(2):285-298. дата звернення Листопад 14, 2026. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8704