Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы. ЖФІП. 2015;13(2):148 – 163. дата звернення Листопад 12, 2026. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4553