Особливості формування і вплив нагріву на структуру багатошарових композицій Sb/В4С з кристалічними шарами сурми

Автор(и)

  • І. А. Копилець Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут» image/svg+xml
  • В. В. Кондратенко Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут» image/svg+xml

Ключові слова:

багатошарова композиція, наношари, сурма, карбід бору, рентгенівська дифракція

Анотація

Описані особливості змін в структурі багатошарової композиції Sb/В4С з кристалічним шарами Sb при нагріванні до 450 °С. Композиція Sb/В4С виготовлена методом магнетронного розпилення і мала товщину шарів 7 нм (Sb) і 8,5 нм (В4С). Дослідження проводилося за допомогою рентгенівської дифрактометрії на малих і великих кутах. Дані моделювання малокутових дифрактограм вказують на наявність перемішаних зон на межах чистих сурм’яних і B4C шарів. Ці перемішані зони, з неоднорідним складом по товщині, при нагріванні розшаровуються та істотно зменшуються. Аморфний стан шарів B4C і початкова текстура шарів Sb зберігаються  в ході відпалів. Багатошарові періодичні композиції Sb/В4С з періодом 15,6 нм і кристалічними шарами сурми демонструють досконалу шарувату будову до температури 350 °С.

 

Біографії авторів

  • автор І. А. Копилець, афіліація Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут»
    c.н.с.
  • автор В. В. Кондратенко, афіліація Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут»
    с.н.с.

Завантаження

Опубліковано

2017-11-14

Номер

Том 2 № 2-3 (2017): Журнал фізики та інженерії поверхні

Розділ

Статті

Ліцензія

У відповідності з типовим шаблоном.

Як цитувати

Особливості формування і вплив нагріву на структуру багатошарових композицій Sb/В4С з кристалічними шарами сурми. (2017). Журнал фізики та інженерії поверхні, 2(2-3), 74-79. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/9569

Статті цього автора (цих авторів), які найбільше читають