Етапи формування імпульсного розряду в кисні і CF4

Автор(и)

  • V. A. Lisovskiy V. N. Karazin Kharkiv National University, Scientific Center of Physical Technologies
  • P. A. Ogloblina V. N. Karazin Kharkiv National University, Instituto de Plasmas e Fusão Nuclear, Instituto Superior Técnico, Universidade de Lisboa, Lisbon, Portugal
  • S. V. Dudin V. N. Karazin Kharkiv National University, Scientific Center of Physical Technologies
  • V. D. Yegorenkov Харківський національний університет імені В. Н. Каразіна image/svg+xml
  • A. N. Dakhov Харківський національний університет імені В. Н. Каразіна image/svg+xml
  • V. I. Farenik V. N. Karazin Kharkiv National University, Scientific Center of Physical Technologies

Ключові слова:

імпульсний розряд, осцилограми струму і напруги, формування розряду, плазмова фаза, післясвітіння

Анотація

У цій роботі були виміряні осцилограми струму і напруги імпульсного розряду в широкому діапазоні частот (від 20 до 300 кГц), коефіцієнтів заповнення від 15 до 85 %, для двох значень тиску 0,1 і 1 Торр кисню і CF4. Було отримано, що осцилограми струму тліючого імпульсного розряду мають плазмову фазу і фазу післясвітіння. Спостерігалися наступні етапи плазмової фази: 1. Імпульс ємнісного струму тривалістю приблизно 0,5–1 мкс; 2. Етап зростання струму, тривалість якого залежала від сорту газу, тривалості плазмової фази і тиску;  3. Плато (помітно виражене лише для CF4 і відсутнє в кисні); 4. Зменшення струму, що тривало десятки мікросекунд, до рівня, відповідного розряду з постійною напругою.

 

 

Біографії авторів

  • автор V. A. Lisovskiy, афіліація V. N. Karazin Kharkiv National University, Scientific Center of Physical Technologies
    с.н.с.
  • автор P. A. Ogloblina, афіліація V. N. Karazin Kharkiv National University, Instituto de Plasmas e Fusão Nuclear, Instituto Superior Técnico, Universidade de Lisboa, Lisbon, Portugal
    с.н.с.
  • автор S. V. Dudin, афіліація V. N. Karazin Kharkiv National University, Scientific Center of Physical Technologies
    с.н.с.
  • автор V. D. Yegorenkov, афіліація Харківський національний університет імені В. Н. Каразіна
    с.н.с.
  • автор A. N. Dakhov, афіліація Харківський національний університет імені В. Н. Каразіна
    с.н.с.
  • автор V. I. Farenik, афіліація V. N. Karazin Kharkiv National University, Scientific Center of Physical Technologies
    с.н.с.

Завантаження

Опубліковано

2017-04-27

Номер

Том 1 № 4 (2016): Журнал фізики та інженерії поверхні

Розділ

Статті

Ліцензія

У відповідності з типовим шаблоном.

Як цитувати

Етапи формування імпульсного розряду в кисні і CF4. (2017). Журнал фізики та інженерії поверхні, 1(4), 351-360. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8353