Структура, фазовий склад та модель росту аморфних багатошарових рентгенівських дзеркал W-Si, виготовлених методом магнетронного розпилу

Автор(и)

  • Ю. П. Першин Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт»

Ключові слова:

багатошарове рентгенівське дзеркало, аморфне покриття, перемішування, густина, склад

Анотація

Методами рентгенівської дифрактометрії та рентгенівської рефрактометрії (λ = 0,154 нм) досліджені структура та фазовий склад багатошарових рентгенівських дзеркал (БРД) W/Si, виготовлених методом магнетронного розпилення. Встановлено, що в результаті взаємодії компонентів у багатошаровій системі на міжфазних межах формуються асиметричні силіцидні прошарки неоднакового складу та товщини. Зроблена оцінка густини кожного шару БРД W/Si. Запропонована модель будови БРД W/Si.

Біографія автора

  • автор Ю. П. Першин, афіліація Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт»
    Н. с.

Завантаження

Опубліковано

2016-06-24

Номер

Том 1 № 1 (2016): Журнал фізики та інженерії поверхні

Розділ

Статті

Ліцензія

У відповідності з типовим шаблоном.

Як цитувати

Структура, фазовий склад та модель росту аморфних багатошарових рентгенівських дзеркал W-Si, виготовлених методом магнетронного розпилу. (2016). Журнал фізики та інженерії поверхні, 1(1), 27–41. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/6091