Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы. ЖФІП [Internet]. 2015 Dec. 4 [cited 2026 Nov. 14];13(2):148 – 163. Available from: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4553