Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N. ЖФІП [Internet]. 2015 Apr. 27 [cited 2026 Nov. 14];12(4):556-63. Available from: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/1486