“Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы”. Journal of Surface Physics and Engineering 13, no. 2 (December 4, 2015): 148 – 163. Accessed November 14, 2026. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4553.