“Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы”, ЖФІП, vol. 13, no. 2, pp. 148 – 163, Dec. 2015, Accessed: Nov. 14, 2026. Available: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4553