“Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы” (2015) Journal of Surface Physics and Engineering, 13(2), pp. 148 – 163. Available at: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4553 (Accessed: 14 November 2026).