Розробка математичної моделі автоматизованої системи управління нанесення наноструктурованих діелектричніх плівок. МІА [інтернет]. 19, Січень 2018 [цит. за 25, Жовтень 2026];37(1):45-53. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/mia/article/view/10516