Вплив параметрів іонного осадження в імпульсному режимі на характеристики алмазоподібного покриття. East Eur. J. Phys. [інтернет]. 23, Листопад 2012 [цит. за 24, Жовтень 2026];(1025(4):102-6. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/eejp/article/view/13679