Вплив температури підкладки на морфологію та кристалічність тонких плівок TiO₂, вирощених методом ALD з використанням TTIP та H₂O. East Eur. J. Phys. [інтернет]. 08, Грудень 2025 [цит. за 24, Жовтень 2026];(4):449-53. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/eejp/article/view/27068