Морфологія та електричні властивості плівок ITO, отриманих на кремнієвих підложках методом CVD. East Eur. J. Phys. [інтернет]. 08, Грудень 2025 [цит. за 24, Жовтень 2026];(4):392-6. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/eejp/article/view/26809