Вплив умов осадження на мікроструктуру та склад моношарових нітридних та карбідно-нітридних мультишарових покриттів на основі W та Nb. East Eur. J. Phys. [інтернет]. 09, Червень 2025 [цит. за 25, Жовтень 2026];(2):297-312. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/eejp/article/view/26380