Електрофізична природа дефектів у кремнії, спричинених імплантованими атомами платини. East Eur. J. Phys. [інтернет]. 09, Червень 2025 [цит. за 25, Жовтень 2026];(2):431-5. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/eejp/article/view/26050