Технологія кремнієвого p-i-n меза-фотодіода. East Eur. J. Phys. [інтернет]. 02, Вересень 2024 [цит. за 25, Жовтень 2026];(3):385-9. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/eejp/article/view/23784