Дослідження силіцидоутворення в монокристалічному кремнії великого діаметра. East Eur. J. Phys. [інтернет]. 01, Червень 2024 [цит. за 25, Жовтень 2026];(2):366-71. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/eejp/article/view/23551