Кореляція між параметрами осадження та структурою і властивостями нанорозмірних багатошарових покриттів (TiSi)N/CrN. East Eur. J. Phys. [інтернет]. 02, Червень 2022 [цит. за 24, Жовтень 2026];(2):112-7. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/eejp/article/view/18538