Кореляція між параметрами осадження та структурою і властивостями нанорозмірних багатошарових покриттів (TiSi)N/CrN
DOI:
https://doi.org/10.26565/2312-4334-2022-2-14Ключові слова:
багатошарові покриття, нітриди тугоплавких металів, твердість, адгезійна міцністьАнотація
Багатошарові покриття (TiSi)N/CrN сформовані методом вакуумно-дугового осадження з двох катодів при струмах дуги (100 ÷ 110) А на TiSi катоді і (80 ÷ 90) А на Cr катоді. Негативний потенціал зміщення на тримачі підкладки становив (100 ÷ 200) В, а тиск реактивного газу в камері (0,03 ÷ 0,6) Па. Негативний потенціал зміщення на підкладках посилював дію іонного бомбардування, що вплинуло на хімічний склад, фазовий стан, механічні та трибологічні властивості покриттів (TiSi)N/CrN. Отримані результати показали, що покриття (TiSi)N/CrN з вмістом Si від 0,53 до 1,02 ат.% мають високу твердість (22,1 ÷ 31,1) Гпа разом з високим модулем Юнга (209 ÷ 305) ГПа, рівнем H/E* (0,080 ÷ 0,100), рівнем H3/E*2 (0,15 ÷ 0, 33) ГПа та коефіцієнтом тертя 0,35. Значення критичних навантажень при динамічному вдавлюванні, зміни коефіцієнта тертя і рівня сигналу акустичної емісії при склерометрії свідчать про високу адгезій ну міцність покриттів (TiSi)N/CrN, що є підставою рекомендувати їх для підвищення продуктивності різального інструменту.
Посилання
F. Cai, X. Huang, Q. Yang, R. Wei and D. Nagy. Surf. and Coat. Technol. 205, 182 (2010) https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2010.06.033
A.O. Andreev, L.P. Sablev and S.N. Grigor`ev, Vacuum-arc coatings, (Kharkiv, NNC KIPT, 2010), 318 p. (in Russian).
B. Navinšek, P. Panjan and I. Milošev. Surf. and Coat. Techn. 97, 1-3, 182 (1997) https://doi.org/10.1016/S0257-8972(97)00393-9
S. Veprek, М. Veprek-Heijman, Р. Karvankova and О.Prochazka, Thin Solid Films. 476, 1, 1-29 (2005). https://doi.org/10.1016/j.tsf.2004.10.053
A. D. Pogrebnjak, A. P. Shpak, N.A. Azarenkov and V. M. Beresnev, Physics-Uspekhi, 52(1), 29 (2009). https://doi.org/10.3367/UFNe.0179.200901b.0035
H. Zeman, J. Musil and P. Zeman, J. Vac. Sci. Technol. A22 (3), pp. 646-664 (2004).
P.J. Martin, A. Bendavid, J.M. Cairney and M. Hoffman, Surf. and Coat. Technol. 200, 7 2228-2235 (2005). https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2004.06.012
A. Cavaleiro and J. Hosson, Nanostructured Coatings, (Springer New York, NY, 2006), 648 p. https://doi.org/10.1007/978-0-387-48756-4
Sh.-Min Yang, Yi.-Yu.Chang, D.-Yi.Lin, Da-Yu.Wang and W. Wu, Surf. & Coat. Techn. 202, 10, 2176 (2008). https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2007.09.004
Y.V. Kunchenko, V.V. Kunchenko, I.M. Neklyudov, G.N. Kartmazov and A.A. Andreev, PAST, 2 (90), 203 (2007).
G.V. Samsonov and I.M. Vinnitskiy, Refractory compounds: handbook, (Metallurgiya, Moskow, 1976), pp.560. (in Russian).
G.V. Samsonov, L.A. Dvorina and P.V. Rud`, Silicides, (Metallurgiya, Moskow, 1979), pp.272. (in Russian).
S.A. Firstov, V.F. Gorban`, E.P. Pechkovskiy and N.A. Mameka, Materialovedenie, 11, 26 (2007).
D.V. Shtansky, S.A. Kulinich, E.A. Levashov, A.N. Sheveiko, F.V. Kiriuhancev, and J.J. Moore, Thin Solid Films. 420-421, 330 (2002). https://doi.org/10.1016/S0040-6090(02)00942-2
J. Valli, J. Vac. Sci. Techn., A4, 3007 (1986). https://doi.org/10.1116/1.573616
Завантаження
Опубліковано
Номер
Розділ
Ліцензія
Автори, які публікуються у цьому журналі, погоджуються з наступними умовами:
- Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.
- Політика журналу дозволяє і заохочує розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на оперативності та динаміці цитування опублікованої роботи (див. The Effect of Open Access).
