ПІДСИЛЕННЯ СТРУМУ В УНІПОЛЯРНОМУ ІМПУЛЬСНОМУ РОЗРЯДІ У ВУГЛЕКИСЛОМУ ГАЗІ НИЗЬКОГО ТИСКУ

Автор(и)

DOI:

https://doi.org/10.26565/2312-4334-2017-4-09

Ключові слова:

газовий розряд, плазма, вуглекислий газ, імпульсний розряд, підсилення струму

Анотація

Досліджено уніполярний імпульсний розряд низького тиску (0,1–0,5 Торр) в CO2 в діапазоні частот 20–200 кГц при коефіцієнті заповнення імпульсів від 0,1 до 0,85 і амплітуді напруги 600–1000 В. Виявлено, що ефект підсилення струму, що спостерігався раніше в середньочастотних імпульсних розрядах в інших газах, має місце і для розряду в СО2 з коефіцієнтом підсилення 1–2. При цьому коефіцієнт підсилення зменшується з ростом струму розряду, як при збільшенні амплітуди імпульсної напруги, так і при збільшенні тиску вуглекислого газу. Показано, що форма осцилограми струму імпульсного розряду визначається в першу чергу тривалістю плазмової фази і майже не залежить від тривалості фази післясвітіння. Обговорюється фізичний механізм явища підсилення струму в імпульсному розряді. Зроблено висновок про те, що найважливішим фактором у цьому механізмі є нагрів газу в розрядному проміжку протягом плазмової фази розряду, який призводить до локального падіння концентрації нейтральних молекул газу і, як наслідок, до зниження швидкості іонізації.

Завантаження

Опубліковано

2017-12-15