Вплив складу газової фази і струму нагріваючого разряду на кінетику зростання легованних азотом наноструктурних алмазних покриттів. ЖФІП [інтернет]. 29, Жовтень 2012 [цит. за 24, Жовтень 2026];10(4):328-35. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/10072