Синтез TiSiN покриттів при одночасному розпиленні мішеней з Tі та Si в азот-аргоновій плазмі. ЖФІП [інтернет]. 28, Липень 2017 [цит. за 24, Жовтень 2026];11(4):412-9. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8948