Розподіл хімічних елементів в поверхневому шарі імплантованих іонами SI+ плівок залізо-ітрієвого гранату. ЖФІП [інтернет]. 24, Березень 2017 [цит. за 24, Жовтень 2026];12(1):39-44. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8228