СВЧ высоколокальный сканирующий разогрев в технологии микро- и наноэлектроники. ЖФІП [інтернет]. 04, Грудень 2015 [цит. за 14, Листопад 2026];13(2):209 – 217. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4564