[1]
«Аналіз умов синтезу надтвердих плівок дибориду танталу у магнетронних розпилювальних системах», ЖФІП, вип. 2, вип. 2-3, с. 105–114, Лис 2017, дата звернення: Жов 24, 2026. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/9573