«Синтез TiSiN покриттів при одночасному розпиленні мішеней з Tі та Si в азот-аргоновій плазмі», ЖФІП, вип. 11, вип. 4, с. 412–419, Лип 2017, дата звернення: Жов 23, 2026. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8948