[1]
«Вплив кута падіння пучка іонів на внутрішні напруження в осаджуваному покритті», ЖФІП, вип. 1, вип. 4, с. 338–345, Квіт 2017, дата звернення: Жов 24, 2026. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8351