[1]
«СВЧ высоколокальный сканирующий разогрев в технологии микро- и наноэлектроники», ЖФІП, вип. 13, вип. 2, с. 209 – 217, Груд 2015, дата звернення: Лис 14, 2026. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4564