Синтез TiSiN покриттів при одночасному розпиленні мішеней з Tі та Si в азот-аргоновій плазмі. ЖФІП. 2017;11(4):412-419. дата звернення Жовтень 23, 2026. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8948