Исследование пространственной однородности, элементного и изотопного состава алмазных пленок, полученных методом CVD, комплексом ядерно-физических методов анализа. ЖФІП [Internet]. 2015 Jun. 22 [cited 2026 Nov. 14];12(3):392-8. Available from: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/2859