“СВЧ высоколокальный сканирующий разогрев в технологии микро- и наноэлектроники”, ЖФІП, vol. 13, no. 2, pp. 209 – 217, Dec. 2015, Accessed: Nov. 14, 2026. Available: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4564