Nanocrystalline diamond cvd-films: structure, properties and prospects of application

Authors

  • И. И. Выровец Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”
  • В. И. Грицына Национальный Научный Центр «Харьковский физико-технический институт», Харьков
  • С. Ф. Дудник Национальный Научный Центр «Харьковский физико-технический институт», Харьков
  • О. А. Опалев Национальный Научный Центр «Харьковский физико-технический институт», Харьков
  • Е. Н. Решетняк Национальный Научный Центр «Харьковский физико-технический институт», Харьков
  • В. Е. Стрельницкий Национальный Научный Центр «Харьковский физико-технический институт», Харьков

Keywords:

nanocrystalline diamond films; chemical vapor deposition; nucleus density; surface morphology; physical properties; application

Abstract

The review of the literature data devoted to manufacture of CVD-nanocrystalline diamond films have been performed. The basic technological processes that allow limiting the size of growing diamond crystallites (pretreatment of a substrate surface, change of working gas species and use of substrate bias potential) were discussed. Structure, properties, future prospects of nanocrystalline diamond film application in various areas of science and engineering was given.

Author Biographies

  • И. И. Выровец, Национальный научный центр “Харьковский физико-технический институт”

    снс

  • В. И. Грицына, Национальный Научный Центр «Харьковский физико-технический институт», Харьков

    снс

  • С. Ф. Дудник, Национальный Научный Центр «Харьковский физико-технический институт», Харьков

    снс

  • О. А. Опалев, Национальный Научный Центр «Харьковский физико-технический институт», Харьков

    снс

  • Е. Н. Решетняк, Национальный Научный Центр «Харьковский физико-технический институт», Харьков

    снс

  • В. Е. Стрельницкий, Национальный Научный Центр «Харьковский физико-технический институт», Харьков

    снс

Downloads

Published

2010-02-18

Issue

Vol. 8 No. 1 (2010): Physical surface engineering

Section

Статті

License

У відповідності з типовим шаблоном.

How to Cite

Nanocrystalline diamond cvd-films: structure, properties and prospects of application. (2010). Journal of Surface Physics and Engineering, 8(1), 4-19. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/11764

Most read articles by the same author(s)

<< < 1 2