Белоус ВА, Лунёв ВМ, Носов ГИ, Куприн АС, Толмачёва ГН, Колодий ИВ. Синтез TiSiN покриттів при одночасному розпиленні мішеней з Tі та Si в азот-аргоновій плазмі. ЖФІП [інтернет]. 28, Липень 2017 [цит. за 21, Листопад 2024];11(4):412 -419. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8948