Lisovenko MA, Belovol KO, Kyrychenko OV, Shablya VT, Kassi J, Gritsenko BP, Burkovska VV. Іонна імплантація і перемішування іонних пучків при одночасному осадженні металу та іонній імплантації. ЖФІП [інтернет]. 28, Липень 2017 [цит. за 02, Травень 2024];11(4):406 -411. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8947