Kaverin MV, Zhollybekov B. Структура, властивості та морфологія твердих наноструктурованих покриттів Ti-Si-N. ЖФІП [інтернет]. 21, Липень 2017 [цит. за 25, Листопад 2024];11(3):263 -269. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8757