Сагалович АВ, Сагалович ВВ, Дудин СВ, Фареник ВИ. Порівняльний аналіз різних джерел плазми для цілей реактивного нанесення покриттів і дифузійного насичення металів. ЖФІП [інтернет]. 05, Липень 2017 [цит. за 24, Листопад 2024];12(2):285-98. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8704