Калиниченко АИ, Перепёлкин СС, Стрельницкий ВЕ. Вплив кута падіння пучка іонів на внутрішні напруження в осаджуваному покритті. ЖФІП [інтернет]. 27, Квітень 2017 [цит. за 05, Грудень 2024];1(4):338-45. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8351