Журавель ИА, Бугаев ЕА, Пеньков АВ, Зубарев ЕН, Севрюкова ВА, Кондратенко ВВ. Evolution of structure and mechanism of thermal decomposition of C/SI multilayers. ЖФІП [Internet]. 2017Mar.24 [cited 2024May19];12(1):20-. Available from: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8161