Зыков АВ, Дудин СВ, Яковин СД. Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления. ЖФІП [Internet]. 2015Dec.4 [cited 2025Dec.14];13(2):264 -. Available from: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4571