Зыков АВ, Дудин СВ, Яковин СД. Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления. ЖФІП [інтернет]. 04, Грудень 2015 [цит. за 19, Травень 2024];13(2):264 -. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4571