Гордиенко ЮЕ, Пятайкина МИ, Полищук АВ. СВЧ высоколокальный сканирующий разогрев в технологии микро- и наноэлектроники. ЖФІП [інтернет]. 04, Грудень 2015 [цит. за 05, Квітень 2026];13(2):209 -. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4564