Гордиенко ЮЕ, Пятайкина МИ, Полищук АВ. СВЧ высоколокальный сканирующий разогрев в технологии микро- и наноэлектроники. ЖФІП [Internet]. 2015Dec.4 [cited 2024May19];13(2):209 -. Available from: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4564