Васильев ВВ, Лучанинов АА, Решетняк ЕН, Стрельницкий ВЕ, Толмачева ГН, Прибытков ГА, Гурских АВ, Криницын МГ. Применение порошковых катодов для осаждения Ti-Si-N покрытий из фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы. ЖФІП [інтернет]. 04, Грудень 2015 [цит. за 04, Грудень 2024];13(2):148 -. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/4553