Яковін СД, Зиков ОВ, Дудін СВ, Фаренік ВІ, Юнаков ММ. Іонно-плазмова система для реактивного магнетронного нанесення покриттів. ЖФІП [інтернет]. 22, Червень 2015 [цит. за 02, Травень 2024];12(3):428 -439. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/2863