1.
Буранич В, Шелест И, Гончаров А, Юнда А, Гончарова С. Технологічні особливості DC та RF магнетронного розпорошення. ЖФІП [інтернет]. 18Вер2019 [cited 7Лип2020];3(3):89 -9. Available from: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/14193