Буранич ВВ, Шелест ИВ, Гончаров АА, Юнда АН, Гончарова СА. Технологічні особливості DC та RF магнетронного розпорошення. ЖФІП [інтернет]. 18, Вересень 2019 [цит. за 23, Квітень 2024];3(3):89 -9. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/14193