Бажин АИ, Троцан АН, Чертопалов СВ, Стипаненко АА, Ступак ВА. Вплив режиму магнетронного розпилення та складу реакційного газу на структуру і властивості плівок ITO. ЖФІП [інтернет]. 08, Жовтень 2012 [цит. за 22, Листопад 2024];10(4):342 -349. доступний у: https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/10074