Белоус, В. А., В. М. Лунёв, Г. И. Носов, А. С. Куприн, Г. Н. Толмачёва, і И. В. Колодий. «Синтез TiSiN покриттів при одночасному розпиленні мішеней з Tі та Si в азот-аргоновій плазмі». Журнал фізики та інженерії поверхні 11, no. 4 (Липень 28, 2017): 412 - 419. дата звернення Листопад 24, 2024. https://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8948.